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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
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所蔵一覧 1件～3件（全3件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(名取) (名取)2F開架書架 431.7||フラ 900045273 0件
0002 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 427||D19 S00030724 0件
0003 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 431.7||D59 S00007508 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(名取)
配置場所 (名取)2F開架書架
請求記号 431.7||フラ
資料ID 900045273
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 427||D19
資料ID S00030724
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 431.7||D59
資料ID S00007508
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 6, 213p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部
デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <NC:DA00677476>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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