仙台高等専門学校

VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986. -- (電子材料シリーズ). <BB01412454>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.7||I91 S00003700 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.7||I91
資料ID S00003700
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.9
形態事項 xii, 250p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4621031120
書誌構造リンク 電子材料シリーズ||デンシ ザイリョウ シリーズ <BB01421746>//a
注記 各章末:文献
学情ID BN00435789
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 隆司
イトウ, タカシ <NC:DA00493531>
著者標目リンク 石川, 元
イシカワ, ハジメ <NC:DA07914401>
著者標目リンク 中村, 宏昭
ナカムラ, ヒロアキ <NC:DA07914489>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 薄膜||ハクマク