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仙台高等専門学校
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プラズマと成膜の基礎
小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB01511731>
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所蔵館
配置場所
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返却予定日
予約
0001
仙台(名取)
(名取)2F開架書架
427.6||フラ
900045286
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No.
0001
巻号
所蔵館
仙台(名取)
配置場所
(名取)2F開架書架
請求記号
427.6||フラ
資料ID
900045286
状態
コメント
返却予定日
予約
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書誌詳細
標題および責任表示
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版・頒布事項
東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項
iv, 202, iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN
4526020656
注記
各章末: 文献
学情ID
BN00233219
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
小沼, 光晴(1950-)
コヌマ, ミツハル <NC:DA00302633>
分類標目
電磁気学 NDC8:427.6
分類標目
物理化学.理論化学 NDC8:431.7
分類標目
NDC7:427.5
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