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製造プロセス編

角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <BB00903134>
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角南英夫著. -- コロナ社, 2006. -- (電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編 ; D-27 . VLSI工学). <BB00903134>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.7||Su73 C20060921 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.7||Su73
資料ID C20060921
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 製造プロセス編 / 角南英夫著
セイゾウ プロセスヘン
出版・頒布事項 東京 : コロナ社 , 2006.8
形態事項 xii, 189p ; 26cm
巻号情報
ISBN 4339018872
書誌構造リンク 電子情報通信レクチャーシリーズ / 電子情報通信学会編||デンシ ジョウホウ ツウシン レクチャー シリーズ <BB02049972> D-27 . VLSI工学||VLSI コウガク//a
その他の標題 奥付タイトル:VLSI technology : fabrication processes
注記 引用・参考文献: p[177]-186
学情ID BA81206403
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子情報通信学会
デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ <NC:DA01657532>
著者標目リンク 角南, 英夫
スナミ, ヒデオ <NC:DA15530799>
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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