仙台高等専門学校

はじめての半導体ナノプロセス

前田和夫著. -- 工業調査会, 2004. -- (ビギナーズブックス ; 32). <BB00476869>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.8||Ma26 S00020761 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.8||Ma26
資料ID S00020761
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体ナノプロセス / 前田和夫著
ハジメテ ノ ハンドウタイ ナノプロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2004.2
形態事項 239p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312253
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00135173> 32//a
注記 各章末: 参考文献
学情ID BA6581000X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 前田, 和夫(1935-)
マエダ, カズオ <NC:DA01624690>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 ナノテクノロジー||ナノテクノロジー