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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著. -- 工業調査会, 2003. <BB00840169>
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マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用

藤田博之著. -- 工業調査会, 2003. <BB00840169>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(名取) (名取)2F開架書架 501||マイ 320060129 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(名取)
配置場所 (名取)2F開架書架
請求記号 501||マイ
資料ID 320060129
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 / 藤田博之著
マイクロ ナノマシン ギジュツ ニュウモン : ハンドウタイ ギジュツ デ ツクル ビショウ キカイ ト ソノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.8
形態事項 232p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769371179
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA6332701X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 藤田, 博之(1952-)
フジタ, ヒロユキ <NC:DA05215230>
分類標目 機械工学．原子力工学 NDC8:530
分類標目 機械工学 NDC9:530
件名標目等 マイクロマシン||マイクロマシン
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