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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門

市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著. -- 内田老鶴圃, 2003. <BB00963468>
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市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著. -- 内田老鶴圃, 2003. <BB00963468>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(名取) (名取)2F開架書架 549.8||フラ 320070298 0件
0002 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.8||I14 S00060236 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(名取)
配置場所 (名取)2F開架書架
請求記号 549.8||フラ
資料ID 320070298
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.8||I14
資料ID S00060236
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著
プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク : セイマク ト エッチング ニュウモン
出版・頒布事項 東京 : 内田老鶴圃 , 2003.7
形態事項 viii, 289p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4753650480
学情ID BA6324911X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 市川, 幸美
イチカワ, ユキミ <NC:DA14118494>
著者標目リンク 佐々木, 敏明
ササキ, トシアキ <NC:DA14118508>
著者標目リンク 堤井, 信力
テイイ, シンリキ <NC:DA00278663>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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