仙台高等専門学校

はじめての半導体洗浄技術

小川洋輝, 堀池靖浩著. -- 工業調査会, 2002. -- (ビギナーズブックス ; 23). <BB01028241>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.8||O24 S00003728 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.8||O24
資料ID S00003728
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体洗浄技術 / 小川洋輝, 堀池靖浩著
ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2002.3
形態事項 276p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312121
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00135173> 23//a
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA56225847
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小川, 洋輝||オガワ, ヒロキ <AU00032957>
著者標目リンク 堀池, 靖浩||ホリイケ, ヤスヒロ <AU00018515>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 洗浄法||センジョウホウ