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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00885016>
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マイクロ加工の物理と応用

吉田善一著. -- 裳華房, 1998. -- (応用物理学選書 ; 8). <BB00885016>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 501||O2||8 S00012974 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 501||O2||8
資料ID S00012974
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 裳華房 , 1998.3
形態事項 x, 234p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4785325089
書誌構造リンク 応用物理学選書||オウヨウ ブツリガク センショ <BB00532907> 8//a
その他の標題 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
注記 欧文標題は標題紙裏による
注記 付: 参考文献, 参考書
学情ID BA35144601
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 吉田, 善一 (1957-)||ヨシダ, ヨシカズ <AU00013359>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
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