一関工業高等専門学校

微細加工

半導体研究振興会編. -- 工業調査会, 1977. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 14 . 超LSI技術 ; 1). <BB00261134>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 一関高専 開架 549.8||H29 0009024 0件
0002 一関高専 閉架書庫 549.8||H29 0043506 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 一関高専
配置場所 開架
請求記号 549.8||H29
資料ID 0009024
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 一関高専
配置場所 閉架書庫
請求記号 549.8||H29
資料ID 0043506
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 / 半導体研究振興会編
ビサイ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1977.12
形態事項 9, 376p ; 27cm
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00473039> 14 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 1//b
学情ID BN00697901
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体研究振興会
ハンドウタイ ケンキュウ シンコウカイ <NC:DA00235842>
件名標目等 半導体||ハンドウタイ