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超LSI回路とプロセス
西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB01520779>
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超LSI回路とプロセス
西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB01520779>
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巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
予約
0001
10
一関高専
開架
549.8||H29
S012078
0件
No.
0001
巻号
10
所蔵館
一関高専
配置場所
開架
請求記号
549.8||H29
資料ID
S012078
状態
コメント
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編
チョウ LSI カイロ ト プロセス
出版・頒布事項
東京 : 工業調査会 , 1986.8
形態事項
8, 324p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN
4769310544
書誌構造リンク
半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00473039> 24巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 10//bb
注記
執筆: 秋谷秀夫ほか
注記
各章末: 参考文献
学情ID
BN00551043
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
西澤, 潤一(1926-)
ニシザワ, ジュンイチ <NC:DA00235944>
分類標目
電子工学 NDC8:549
分類標目
科学技術 NDLC:ND371
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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