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触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

中山弘監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 481 . エレクトロニクスシリーズ). <BB01873711>
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触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

中山弘監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2013. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 481 . エレクトロニクスシリーズ). <BB01873711>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 一関高専 開架 572.8||N45 0068998 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 一関高専
配置場所 開架
請求記号 572.8||N45
資料ID 0068998
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 触媒CVD(Cat‐CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 / 中山弘監修
ショクバイ CVD Cat‐CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2013.11
形態事項 v, 276p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781307404
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB01290919> 481 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Recent developments of catalytic CVD (hot‐wire CVD) : a new radical‐based processing technology
注記 文献: 章末
注記 2008年の普及版
学情ID BB13944703
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中山, 弘
ナカヤマ, ヒロシ <NC:DA16504670>
分類標目 電気化学工業 NDC9:572.8
分類標目 工業基礎学 NDC9:501.4
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 触媒||ショクバイ
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