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ＵＬＳＩプロセス技術(アドバンストエレクトロニクスシリーズ)
原 央
著
発行年月 |
1997年06月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
２８６ｐ |
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大きさ |
22 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784563036171 |
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商品コード |
0197070905 |
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NDC分類 |
549.7 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0197070905 |
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内容
再先端の集積回路を実現するために必要な広範囲なプロセス技術に関する解説書。はじめに素子構造とプロセスの概略を説明、次に微細加工、薄膜堆積、酸化膜など各プロセス技術ごとに詳細に説明、最後に将来動向に触れる。
