目次
総論 マイクロテクノロジーへの展開
第1編 基礎編(マイクロ理工学;マイクロ材料)
第2編 微細加工技術(機械加工;マイクロ電気加工・ビーム加工;エッチング;PVD、CVD;LIGAプロセス;マイクロ光造形)
第3編 マイクロマシンの要素(総論―ナノ・マイクロマシンを設計する;マイクロメカニズム;マイクロアクチュエータ;マイクロマニピュレーション;マイクロ計測)
第4編 マイクロマシン応用例(マイクロアクチュエータの応用;マイクロ要素・デバイス;マイクロセンサデバイス;マイクロシステム;その他)