内容説明
本書は多様な半導体の結晶成長について、表面における原子・分子の動きをとらえることから、結晶成長とその技術、さらには成長した半導体結晶の性質に至るまでを解説したものである。
目次
1 走査型トンネル顕微鏡によるシリコン固相エピタキシー過程とその場観察
2 Si‐Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御
3 GaAsの単分子成長機構
4 III‐V族化合物半導体のエピタキシーと表面構造
5 III‐V族希薄磁性半導体の結晶成長と物性
6 II‐VI族半導体量子井戸の作製と光物性
7 ZnS系材料の分子線エピタキシー成長
8 垂直ブリッジマン法によるtwin‐free ZnSe単結晶の作製と評価
9 高純度ZnSeおよびCdTeバルク単結晶の成長と評価
10 磁性半導体Euカルコゲナイドの結晶作製
11 カルコパイライト型化合物の結晶成長
-
- 和書
- 大往生 岩波新書