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〔目次〕 1序論,2スパタリング現象の特徴,3スパタリングの理論,4特殊なスパタリング現象,5スパタリング法による薄膜作製装置,6スパタリングでつくられた薄膜の特徴,7スパタリング薄膜の応用,各章文献,索引.
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