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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01368842>
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半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01368842>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 旭川高専 開架書架 549.7||||Su 1039551
No. 0001
巻号
所蔵館 旭川高専
配置場所 開架書架
請求記号 549.7||||Su
資料ID 1039551
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1980.7
形態事項 6, 373p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856210
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00383437>//a
注記 各章末:参考文献
学情ID BN0059785X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)
スガノ, タクオ <NC:DA00071803>
分類標目 NDC6:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
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