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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学
岩井洋 [ほか著]. -- エヌ・ティー・エス, 2012. <BB00724317>
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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学
岩井洋 [ほか著]. -- エヌ・ティー・エス, 2012. <BB00724317>
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-釧路高専
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
0001
旭川高専
開架書架
541.65||||Nano
3014649
No.
0001
巻号
所蔵館
旭川高専
配置場所
開架書架
請求記号
541.65||||Nano
資料ID
3014649
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学 / 岩井洋 [ほか著]
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
出版・頒布事項
東京 : エヌ・ティー・エス , 2012.7
形態事項
22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN
9784864690393
その他の標題
背表紙タイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ
その他の標題
異なりアクセスタイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
注記
著者のヨミは推定による
注記
参考・引用文献: 各章末
学情ID
BB09682498
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
岩井, 洋
イワイ, ヒロシ <>
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